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阴极发光是一种光谱分析（xī）方法，通过电子（zǐ）束（shù）轰击材料产生发光后，用来在局部范围内鉴（jiàn）别材（cái）料中（zhōng）的点缺陷和杂质缺陷（xiàn），应用（yòng）于微电子（zǐ），半导体材（cái）料，绝缘体，地质（zhì）学和矿物学等（děng）领域（yù）。
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